机译:塑料电子应用中通过反应溅射在低温下沉积的氮化钽薄膜电阻器的电,化学和形态学表征
机译:用于塑料电子产品的低温反应溅射氮化钽薄膜电阻器
机译:退火温度对直流溅射技术沉积在SiO_2 / Si衬底上的氮化钽薄膜电阻器结构和电性能的影响
机译:π型衰减器应用在AlN衬底上沉积的氮化钽薄膜电阻器的结构和电气特性
机译:微电子应用氮化硅薄膜的低温热化学气相沉积
机译:射频反应磁控溅射在低温下沉积在硅上的压电氮化铝薄膜的声波器件特性
机译:金属纳米复合材料上氮化铝薄膜的低温反应溅射
机译:rf反应磁控溅射在低温下沉积在Si上的压电Aln薄膜的表征
机译:用于HmC(混合微电路)应用的氮化钽,钛和钯薄膜沉积的DC磁控溅射系统的表征。